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Time of Flight 測定装置TOF-401

高品質膜質評価のため、N2ダイレーザ光を照射。薄膜の電子移動度、ホール移動度および寿命の評価をおこなう装置です。

製品の特徴

1. ナノ秒レベルの測定を可能にする高S/Nです。
2. ノイズを極力小さくするためのハードウェア構築と、データ処理ソフトの両面からノイズを除去します。
3. サブミクロンレベル(0.1μm)からの超薄膜の計測ができます。
4. 分散型伝導と非分散型伝導の両方に対応します。
Time of Flight 測定装置TOF-301

製品の仕様

移動度 10-7〜10-1cm2/Vsec
膜厚 0.1μm〜数μm
励起光源 窒素レーザ:337.1nm
色素レーザ:357〜710nm
光パルス幅:1nsec
走行時間 10nsec以上
試料温度 -100〜200℃

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