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ソフトパーム

傷をつけずに各種基板を搬送移動する、ピンセット代用ハンドキャリーのコードレスタイプです。極薄のガラス基板・半導体ウェハー・単結晶・宝石・セラミックス・金属・フィルムなどの基板や、金綱・箔・ポ-ラス基板などありとあらゆる基板に使用できます。真空で吸着できない材料をクーロンカで接触吸着し移動搬送できます。

製品の特徴

1. ワークに傷、ホコリなどがつきません。
2. クーロンカを利用していますので、ゴミなどの吸着はありません。
3. 金属・半導体・絶縁体などなんでも吸着移動できます。
4. ポリエチレンフィルム・金箔などピンセットで移動しにくい材料も、容易に吸着移動できます。
5. 金網・穴開き基板・ポ-ラス基板など真空で吸着できない物も、搬送移動できます。
ソフトパーム

製品の仕様

ワーク すべての材料(導体・半導体・絶縁体) ガラス・石英・宝石・セラミックス・フィルム・金網・箔・単結晶等
印加電圧 可変 (0.3、0.5、0.7、0.9、1.0kV) 5段階
保持力 導体・半導体 1kV 40gf/cm2 絶縁体 1kV 20gf/cm2
電源 充電式 単4乾電池3本
使用時間 連続8時間 不連続8時間以上
  特殊アタッチメントのご要望も承ります

(筑波精工株式会社製造=東京大学 樋口俊郎教授共同研究開発)

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